光电测微系统相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

光电测微系统相关论文

光电测微系统的研究

该文提出了基于动态聚焦误差检测和静态聚焦误差检测相结合的光电测微系统.该文通过对激光波长、数值孔径、聚焦误差检测方法、输......

学位

表面粗糙度光电测微系统聚焦误差检测音圈电机聚焦伺服控制 DSP

光电测微系统中的聚焦伺服控制

介绍了光电测微系统的基本原理及其构成，分析了该系统的关键环节即聚焦伺服系统，建立了音圈电机的数学模型；在此基础上，详细介绍了采用......

期刊

光电测微系统数学模型光盘系统激光头聚焦伺服控制伺服系统驱动电路音圈电机直流电机 optoelectrouic micrometer focus

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