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全悬浮双探针相关论文

双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均......

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容性耦合均匀性等离子体密度离子密度二维流径向均匀性双探针全悬浮双探针极板间距等离子体

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