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本文研究了改良西门子法多晶硅生产中从还原副产物回收六氯乙硅烷(Cl6 Si2)的工艺.通过对还原副产物组分分析,并用Aspen plus结合......
用从头算方法HF/6-31G**和密度泛函方法B3LYP/6-31G**,对Si2Cl6分子的平衡几何构型进行优化,优化的结果与实验结果吻合得较好.并用......
六氯乙硅烷作为高品质氮化硅和氧化硅薄膜的硅源前驱体,主要用于DRAM和NAND Flash存储器的制造以及特征尺寸28 nm以下逻辑芯片的制......
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