酸雾消解相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

酸雾消解相关论文

电子特气六氯乙硅烷产品金属杂质检测方法

六氯乙硅烷作为高品质氮化硅和氧化硅薄膜的硅源前驱体,主要用于DRAM和NAND Flash存储器的制造以及特征尺寸28 nm以下逻辑芯片的制......

期刊

六氯乙硅烷 ICP-MS 金属杂质酸雾消解 hexachlorodisilane ICP-MS metal impurities acid mist dige

看过本文同时还关注