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本文针对时间差法共焦测头中的音叉振动稳定性与时间差检测准确性的问题进行了研究。音叉振动是实现测头主动调焦的重要步骤,其振......
本文中所介绍的GJ-4型共焦测头是光学非接触测头的一种,其测量原理为激光扫描共焦显微检测法原理,运用了动态主动调焦的方法,通过......
近年来,非接触测头的发展十分迅速,成为探测技术的一个重要的发展方向。新型激光扫描共焦测头的设计和研究基于激光扫描共焦显微检......
高质量的微靶是激光约束核聚变(Inertial confinement fusion,简称ICF)中实现点火的基础和保障,靶球作为微靶中一个关键部件,在微......
近年来,三坐标测量机正在迅速发展。测头作为三坐标测量机的基本部件之一,与测量机的功能、工作效率、精度密切相关。光学非接触测头......
为了解决微靶靶球在微靶装配体中的位置关系。介绍了一种基于动态主动调焦原理的光学非接触测头,这种测头能够测量具有强反射表面的......