微机电系统(MEMS)已被广泛应用于现代科技和工程的诸多领域。其中谐振器是MEMS的核心部件。MEMS谐振器的能量耗散分为外部耗散和内......

热弹性阻尼(Thermoelastic damping,简称TED)作为—种内部能量耗散机制,当谐振器处于微/纳尺度时会成为微/纳电机系统(Micro/nano-......

谐振器被广泛应用于加速度计、陀螺仪、传感器、执行器等微/纳机械系统(MEMS/NMES)中,这使得谐振器的品质成为这些设备高质量运行......