作为MEMS/NEMS器件的典型代表,微纳机械式谐振器（Micro/Nano-mechanical resonator）是一种实现机械能与磁能、电能、光能等能量转换......

热弹性阻尼(Thermoelastic damping,简称TED)作为—种内部能量耗散机制,当谐振器处于微/纳尺度时会成为微/纳电机系统(Micro/nano-......