主要对０．５μｍ分步光刻机的几个代表性参数即：投影镜头分辨率、照明均匀性，套刻精度，工作台步进精度，镜头畸变等引起误差的原因，测量和计算方......

ＢＧ－１０１Ｊ分步光刻机检测记录（六）套刻精度检测一、工艺过程及条件衬底材料：铝显影温度：２０．５℃机器温度：２０℃±０．２℃气压：显影时间：４５ｓ日期：９４．１２．９湿度：４８％测试人：孙家彬二、......

分步光刻机是制作VLSI和ULSI的关健设备,是光学微细加工技术的中坚。本文概述了它的主要特点及其发展趋势,阐明了研制我国自己的分......

电子工业部第４５研究所所长任继东在ＢＧ－１０１Ｊ型分步光刻机鉴定会上的讲话尊敬的张学东主任：尊敬的王金城军工总监：尊敬的李兆吉老部长：各位领导，各......