刻蚀槽相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

刻蚀槽相关论文

基于刻蚀槽的耦合腔半导体激光器研究

自从上世纪六十年代半导体激光器和光纤问世以来，光纤通信技术得到了迅猛发展。特别是近年来，随着宽带通信和数据中心的的迅猛发展以......

学位

半导体激光器半波耦合刻蚀槽单纵模

铝溅射沉积速率与刻蚀槽深度变化关系研究

采用磁控溅射法制备铝膜是微电子工艺制备金属薄膜最常用的工艺之一,然而在使用磁控溅射设备制备铝膜时,往往会发现调用同一个工艺......

期刊

磁控溅射铝膜刻蚀槽空心阴极效应溅射速率变化关系

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