加速度计自检相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

加速度计自检相关论文

新型体微机械工艺制造高性能加速度传感器的研究

本论文研究了带有自检功能的同平面自限制侧壁压阻敏感加速度传感器的原理、设计、制作工艺和器件测试。为实现该加速度传感器，提出......

学位

微电子机械系统压阻式加速度传感器灵敏度加速度计自检体硅微机械工艺侧壁掺杂扩散垂直绝缘条

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