压阻式加速度传感器相关论文
针对温度影响压阻式加速度传感器精确性和可靠性等问题，文中从压阻式加速度传感器的原理出发，结合公式推导解释其产生温漂的原因；通过......
高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品,具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点,在需要高冲击信号测量的场合有......
目的建立非接触生命参数检测系统与压阻式加速度之间的数学模型. 方法理论推导压阻式加速度传感器和检测系统自抖动干扰回波的数学......
MEMS高g值压阻式加速度传感器广泛应用于冲击测试、爆炸、引信等领域,是导弹侵彻、冲击试验等必不可少的惯性测量器件。因为MEMS高......
为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器。该......
在撞击与侵彻研究中,通常认为对测得的过载信号进行一次和二次积分就可以分别得到该运动过程中的速度与位移。在国内外进行的众多......
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通过实验测试的方法研究分析封装材料对压阻式高量程加速度传感器性能的影响。对使用陶瓷材料和不锈钢材料封装的加速度传感器,利......
利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1......
测试特性的温度漂移是压阻式加速度传感器研发中的固有问题,与器件制造的多个环节相关,是多因素共同作用的结果。封装应力的隔离是......
压阻式硅微加速度传感器,因其具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,尤其是它的低频响应好,并且该传感器在强辐射作用......
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低......
基于MEMS工艺的加速度传感器是发展最早的MEMS传感器之一,由于其具有质量轻、响应快、体积小、功耗低等特点,被广泛的应用于汽车电......
MEMS高g值加速度传感器是MEMS技术应用于引信侵彻过程惯性测试与控制的关键之一。本课题的主要任务是研制基于武器弹药系统高过载......
本论文研究了带有自检功能的同平面自限制侧壁压阻敏感加速度传感器的原理、设计、制作工艺和器件测试。为实现该加速度传感器，提出......
本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压的硅微机械压阻式加速度传感器的设计、制作和测试。该传感器同时具有较高灵敏度和谐振频......
