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区熔工艺相关论文
区熔硅单晶中的漩涡缺陷及其影响因素
因生长时工艺条件的不同,区熔硅单晶中的微缺陷类型及分布会呈现出不同的变化。 对单晶生长工艺中影响缺陷形成的相关因素进行了分......
期刊
区熔工艺
硅单晶
漩涡缺陷
Zone melting process
Silicon single crystal
Vortex defect
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