半导体晶圆制造系统相关论文
由于半导体晶圆制造过程的复杂性,使得实时控制过程难于实施.针对光刻区的不同状态,提出一种基于Kohonen神经网络的多策略实时调度......
针对半导体晶圆制造系统（SWFS）的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点，以拓展型面向对象Petri网（EOPN）为工具对该复杂系统建立了模......
针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体......
针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性，提出一种动态瓶颈实时派工策略．它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策，决策参数通过......
为了尽可能提高瓶颈工作站利用率，在获得较高系统产能的同时得到一个合理的制造周期，构建了以最小化瓶颈工作站的平均加权提前／拖期时......
我国的半导体芯片行业随着电子信息技术的飞速发展得到了快速的崛起。在半导体芯片生产过程中最重要和最复杂的制造阶段当属半导体......
从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目......
针对半导体晶圆制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System, SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出一种时变多目......
为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度......
针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该......
针对半导体晶圆制造系统缩短制造周期(CT)和提高产出率(TH)两个目标,考虑了瓶颈设备偏离其正常和可预测处理时间的情况(即瓶颈设备......
针对半导体晶圆制造中设备众多,生产周期长和多次重入等特点,提出一种在制品水平分解控制方法。首先,通过仿真实验,依据系统关键指......
半导体晶圆制造系统是半导体制造过程中最为复杂和昂贵的环节，晶圆制造系统的调度问题是一类复杂的车间调度问题。尽管目前晶圆制造......
作为当今世界上最复杂的制造系统之一,半导体晶圆制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System, SWFS)存在着生产周期长,生产......
为了使半导体企业在激烈的市场竞争中占据有利地位,要求其不断提高产能降低制造周期来适应需求。在整个半导体晶圆制造系统中,光刻......
