单晶硅梁相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

单晶硅梁相关论文

基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关

RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成......

期刊

射频微机械开关单晶硅梁静电驱动

电磁驱动推拉式射频MEMS开关的设计与制作

提出了一种新型电磁驱动推拉式射频MEMS开关。针对传统静电驱动单臂梁开关所需驱动电压大、恢复力不足等问题,设计了一种推拉式开......

期刊

射频MEMS开关 MEMS 电磁驱动推拉式单晶硅梁隔离度

看过本文同时还关注