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单晶硅纳米薄膜相关论文
单晶硅纳米薄膜在氢氟酸表面处理下的特性研究
在氢氟酸浸没1分钟后,对(001)硅纳米薄膜进行去离了水1分钟漂洗和不漂洗两种处理,在室温干燥空气中运用van der Pauw方法对其进行面......
会议
单晶硅纳米薄膜
氢氟酸
表面处理
电导率
样品
漂洗
氧化层
结果
干燥空气
电子图谱
自然
室温
浸没
过程
个数
复原
方法
测量
XPS
van
单晶硅纳米薄膜的杨氏模量及纳米谐振梁力学特性的半连续体模型分析
随着微加工技术水平的不断提高,纳机械系统(NEMS)正方兴未艾并吸引了研究人员的广泛关注。目前纳米领域的研究手段很多,借助先进的实......
学位
单晶硅纳米薄膜
杨氏模量
纳米谐振梁
双端固支梁
半连续体模型
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