压电步进式驱动器相关论文
压电步进精密驱动器是以压电器件为驱动元件,利用步进驱动原理实现微米甚至亚纳米级运动的驱动器。本文以实现压电步进二维精密驱......
压电步进驱动器是一种利用仿生工作原理，采用“箝位-驱动-箝位”的方式运动的精密驱动器。本文介绍了一些国内外一些典型的压电步进......
