压电薄膜材料相关论文
本文利用双层面内反向极化的压电薄膜作为TSM模式的激发源，研究这种压电层配置对声波传感器性能的影响。根据理论结果，给出优化......
采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜，用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸......
本文的主要内容分为以下五章:
第一章为绪论,介绍了与本论文研究内容相关的基础知识、发展现状及主要研究目标。
在第二......
Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3(简称BZT-BCT)因其在准同型相界(Morphotropic Phase Boundary，MPB)的超高压电性能成为近几年......
压电薄膜因其优良的力电耦合特性而广泛应用于微电子学、光电子学和微电子机械系统等领域。压电薄膜材料用于微器件,尤其在航空器......
越来越多的研究致力于发展压电材料在微机电系统的应用。它们经常是以一种薄膜的形式存在,薄膜的厚度在纳米到微米量级。微机电系......
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有频率高,体积小,功率大及与半导体工艺兼容的特点,符合现代通讯器件GHz工作频率级的要求。固贴式薄膜体......
本文介绍了聚偏二氟乙烯(PVDF)压电薄膜材料的优缺点、传感机理、制备方法及其应用.基于有限元方法研究PVDF圆膜并分析影响其声学......
