原子级加工相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

原子级加工相关论文

原位In原子辅助激光刻蚀GaAs表面的研究

半导体加工技术在集成电路、无线通信、光电探测器等领域有着广泛的应用。随着新型器件的微型化,我们急需开发高效的纳米加工手段,......

学位

原子级加工原位激光刻蚀半导体 In原子浸润

原子级加工技术的研究

分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即"恒高度模式"和"恒电流模式",并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级......

期刊

原子级加工特种加工纳米技术

纳米级超精密抛光机控制系统研制

本文主要从抛光机理出发，阐明了各抛光参数与抛光效率及精度的关系，提出了切实可行的控制方法，并实现了产品化。抛光机是最精密的工作......

学位

抛光盘控制系统研制超精密加工抛光效率工件表面平面度超精密机床表面粗糙度原子级加工电极损耗

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