双伺服环控制相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

双伺服环控制相关论文

计量型扫描显微镜中大行程纳米定位系统研制

为克服现有计量型扫描探针显微镜(SPM)测量范围小、测量速度低的不足,提出了快速共焦显微镜和SPM结合的大量程、高速、可溯源扫描......

期刊

扫描显微镜两级进给数字滤波双伺服环控制激光干涉测量切比雪夫滤波器机械位移定位精度运动控制定位系统

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