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介绍了Φ200mm的太阳能用直拉硅(cz蛳)单晶生长中,采用热屏、复合式导流系统及双加热器改造直拉炉的热系统,进行不同热系统下的拉晶试......
本文在国产TDR-70炉的基础上,对原设备进行了局部改造,设计了适合φ200mmCZSi单晶生长的新型16”复合式热系统。该系统保留了矮加热......
对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计,建立了不同条件下的理论模型,采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延......
P型锗单晶作为空间太阳电池外延层的衬底片,对其电阻率均匀性的一致性有着极高的要求。在直拉法锗晶体生长中,固液界面即为结晶前......
大直径硅单晶生长中,欲提高拉速就必须提高结晶速率,而要想提高结晶速率,则结晶前沿的物理状态和结晶潜热散发的良性循环就至关重......