热屏相关论文
本文对直径300mm晶体生长热场进行了数值模拟,并模拟计算了晶体生长过程中单晶炉内的氩气流动情况.热场的模拟计算结果与实验测量......
采用有限元法计算了300 mm硅单晶生长过程中,热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响。计算所用的模型涵盖......
为降低回旋行波管阴极的加热功率,采用支持筒切缝和支持筒外加热屏的阴极结构,运用AN-SYS有限元软件对该结构的切缝数目和切缝深度......
讨论了300mm硅单晶的工艺控制，分析了拉晶工艺、热屏及磁场对晶体质量的影响。合理的工艺参数是拉制无位错单晶的前提，热屏和磁场的......
介绍了Φ200mm的太阳能用直拉硅（cz蛳）单晶生长中，采用热屏、复合式导流系统及双加热器改造直拉炉的热系统，进行不同热系统下的拉晶试......
本文在国产TDR-70炉的基础上，对原设备进行了局部改造，设计了适合φ200mmCZSi单晶生长的新型16”复合式热系统。该系统保留了矮加热......
直拉硅单晶是重要的半导体材料,广泛应用于集成电路和太阳能光伏电池的制造。热场是直拉硅单晶生长技术的核心,对产品的质量、产量......
随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔......
在CZ法生长太阳能级单晶硅中,单晶炉的导流筒、热屏和炭毡对晶体生长有很大影响。通过对上述三个部件进行改进优化,并通过数值模拟......
本文采用有限体积元法软件CrysVUn对直拉法生长直径300mm硅单晶热场和热应力分布进行了模拟。后继加热器通过补充晶体径向的热散失......
在模拟压水堆吊篮、热屏结构支承与联接条件的1:10钢模型上,对无热屏的吊篮结构和以三种不同联接方式安装热屏的吊篮结构分别进行......
通过对28英寸热场生长300 mm硅单晶过程中结晶速率、固液界面形状、晶体中热应力及晶体中氧含量的数值计算提出了在该热场条件下热......
热场结构决定了晶体生长的热量、质量传输条件和晶体生长环境。利用专业晶体生长模拟软件CGSim,用数值模拟技术分析了晶体的温度场......
对比了热系统中热屏有无在晶体生长中所带来的影响以及热屏具有可升降功能后所带来的有益效果;重点讲述了热屏提升机构的组成以及......
讨论了 30 0 mm硅单晶的工艺控制 ,分析了拉晶工艺、热屏及磁场对晶体质量的影响。合理的工艺参数是拉制无位错单晶的前提 ,热屏和......
