用GSMBE法生长了Si/SiGe/Si异质结构材料．采用双台面结构制造了SiGe/Si NPN异质结晶体管．在发射结条宽为4μm,面积为4μm×18μm的条......

叙述了ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结双极晶体管（ＨＢＴ）的设计考虑，双台面结构的制作方法，并制作出ｆＴ为９ＧＨｚ的ＳｉＧｅ／ＳｉＨＢＴ同时根据不同尺寸ＨＢＴ的测试结果得到分布参数是影响ｆＴ的重要因素之......