双壳层靶相关论文
在JGP560型高真空多功能磁控溅射设备上，利用直流磁控溅射法，通过控制溅射过程中的工作气压，在平面基片和微球表面制备的一系列高Z金......
双壳层靶主要是针对中心点火方式设计的，外壳层是烧蚀材料，内壳层由高Z材料构成，里面充满高压DT气体。这种靶构型与传统的中心点......
设计了一种新型双壳层靶丸金属层电沉积装置,借助计算机模拟了其设计原理,分析了微球的运动及镀层的生长模式,介绍了其各部分结构......
在JG P560型高真空多功能磁控溅射设备上，利用直流磁控溅射法，通过控制共溅射时A u靶和Cu靶的功率变化，在平面基片和微球表面制备了一......
