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双高度法相关论文

纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验

基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最......

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微纳米测量重力补偿器扫描静电力显微镜探针系统双高度法 micro-nano measurement gravity compensator scann

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