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零刚度磁悬浮重力补偿器(ZMLGC)工作在零刚度点附近,用以平衡重力并实现超低频隔振。但是,随着ZMLGC的运动其轴向刚度增加显著,制......
伴随着精密加工、精密测量和航空航天技术的不断进步,对机械结构动态稳定性和抗振性的要求变得更加严格,大型光刻机设备、超精密光......
基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最......
提出一种结构新颖的圆筒型磁悬浮重力补偿器,次级采用Halbach永磁结构,具有悬浮力大、法向刚度低等特点。介绍了圆筒型磁悬浮重力......
