叠栅技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

叠栅技术相关论文

测量薄膜厚度的数字叠栅技术

现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。由于常见的相移法要通过移相器有规律地移动采集多幅干涉图......

期刊

薄膜厚度干涉图移相干涉法叠栅技术 thin films thickness interferogram phase shifting interfero

接近式光刻对准中的叠栅干涉测角方法

干涉测量是众多科学与工程领域广泛采用的精密计量手段。探索了一种方便可控的基于双光栅衍射的叠栅干涉相敏测角方法,可直接用于......

期刊

测角干涉测量叠栅技术多次衍射微细加工光栅光栅衍射掩模双光栅微纳米

看过本文同时还关注