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HL-2A装置直流辉光自动调节控制系统
直流辉光放电清洗的主要作用是去除HL-2A装置内的低Z杂质C、O,以及放电期间所产生的残余气体和杂质.介绍了直流辉光放电自动调节控......
期刊
HL-2A
器壁条件
直流辉光
自动控制
感应耦合等离子体器壁条件与等离子体参数的关系
本文目的为研究感应耦合等离子体(ICP)的器壁条件与等离子体参数之间的关系。器壁条件改变的两种方式为改变器壁尺寸和在器壁上沉......
学位
感应耦合等离子体
器壁条件
发射光谱
光强周期性变化
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