提出了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振（Thin film bulk acoustic resonator，FBAR）质量传感器。薄膜体声波谐振器谐振频率非......

介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率......