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金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的关键工艺技术。为了实现真空蒸镀直接剥离7 mm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金......
研究了AZ-5214胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术。用扫描电镜和台阶仪测试制作出的光刻胶断面呈倒台面,......
为了制备高点火能力的复合含能桥膜,对图形反转剥离工艺进行研究,发现其倒梯形的光刻胶剖面有利于制备高精度的厚膜图形。以Ti为过......
介绍了一种适用于厚膜剥离的图形反转双层胶光刻技术，采用图形反转胶和正型光刻胶，选择合适的光刻工艺形成了光刻胶“倒梯形”的剖面......
研究了利用AZ5214光刻胶图形反转实现抗腐蚀金属NiCr剥离的关键工艺步骤,该方法可以用于制备金属电极,进而优化器件性能。理论上讨......
