图形失真相关论文
提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的......
接近式紫外光刻中光刻胶图形形状失真是影响基于紫外光刻工艺的大深宽比微结构质量的重要因素之一.为把握其规律,并探寻减小光刻胶......
介绍了用Visual Basic语言编程分析机构运动时出现的图形失真问题的处理方法：通过子程序调节作图区域的高宽比,并在主程序的相应事......
文章给出了一种采用扫描振镜实现的激光动画屏幕显示系统设计方案，即计算机与嵌入式单片机相连的高速数据传输与控制系统，该系统能够......
通过DAO技术对所创建的上海地铁一号线某一区段列车运行数据的Access数据库进行访问，并利用MFC在Visual Studio 2005平台上生成列车......
光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响，是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一，为此，研究了接近......
基于Hopkins公式，研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度，并建立相应的基于部分相......
在快速成型系统中,如选择性激光烧结成型(Selective laser sintering,SLS),最重要的扫描模块一般都是采用的国外成套的三维动态聚......
UV-LIGA技术用紫外光源代替同步辐射X光，从而以较为低廉的价格获得较大深宽比的微结构，是一项极具发展潜力的微机械加工技术。紫外光......
振镜式激光扫描技术以其高速、精确扫描的优点广泛应用于激光打标、快速成形、激光扫描显示等技术中,成为非常重要的核心部件。激......
集成电路是当今智能化产业的基础,而光刻技术是集成电路发展的主要推动力。相较于传统的掩模光刻技术,数字光刻技术具有灵活、速度......
接近式光刻是运用比较长久、技术成熟的一种光学曝光方式,但是在实际的批量生产的过程中有很多因素会影响到光刻后图形质量,导致图......
