数字光刻相关论文
阐述数字微镜技术，基于数字微镜器件的光刻机特性，包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD，探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用。......
提出了一种基于数字微镜阵列的微立体光刻系统，并在COMSOL Multiphysics软件中进行了系统光路的建模与仿真。在分析微立体光刻系统......
数字光刻技术是下一代光刻的先进代表。本文提出了一种利用DMD(数字微反射镜装置)进行数字掩模光刻成像，在铬膜玻璃上制作二元光学......
无掩模数字光刻技术的发展,给光刻领域带来了极大的创新。它的技术原理是在DMD微镜上显示数字掩模图形,可以有效的避免掩模版制作......
自从1958年,美国第一次成功把光刻技术应用于集成电路制造中,光刻技术就在不断发展。光刻技术是用于制作半导体器件和集成电路的,......
数字光刻技术能影响到大面积印制电路板、TFT-LCD、微光学元器件、太阳能电板等高科技产业的产品质量和成本，最终影响到产品商业竞......
随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演......
基于DMD数字光刻系统,建立了一种新型的双光源DMD数字光刻系统。双光源DMD数字光刻系统由光源照明系统、DMD数字微镜、投影物镜以......
针对DMD数字光刻成像畸变问题,提出一种优化DMD微镜像素灰度值提高光刻成像质量的方法。将微镜像素的灰度值编码为0,1二进制位串,......
本文所研究的PCB激光制版系统采用了基于空间光调制器的数字光刻技术,文中首先阐述了数字光刻技术的原理,给出曝光强度函数并建立......
在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管（LED）进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近......
期刊
随着个人电子设备朝多功能、微型化、轻薄化、系统高度集成化方向发展,高端个人电子产品,例如下一代智能手机、Pad、iPhone、数码......
近年来,基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字光刻技术引起了人们的极大的关注。DMD作为数字光刻系统的掩模发生器,具有灵活、低成本......
随着信息技术的发展,数字化时代的到来,DLP数字光处理技术作为一项世界领先的数字化投影显示技术,除了被广泛使用于人们所熟知的包......
光刻技术作为加工半导体器件的核心技术,经历了接触光刻到扫描光刻的发展历程,由于制作成本过高,如何降低成本并探索新的光刻技术......
学位
近年来，柔性光电系统由于其独特的柔韧性和延展性，在可折叠、能弯曲等图像显示，便携式太阳能电池等方面有着广阔的应用前景。因此有必......
数字无掩模光刻是微纳加工领域的必要技术手段，在集成电路（IntegratedCircuit，IC）制作过程中，省去昂贵的光掩模板，只要对替代的数字掩模（......
随着高清手机、超级电脑、多功能电视的普及,印刷电路板(PCB)、薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、氧化铟锡导电玻璃(ITO)的高精度光刻变......
有机电致发光二极管(OLED)具有能主动发光,材料选择范围宽,响应快,重量轻,高可视度,高亮光,高速无闪烁成像,高对比度,宽视角等优点......
随着微光学器件的应用越来越广泛，微光学器件正在朝更微形化、阵列化、结构复杂化等多个方面发展，并已经取得了很多卓有成效的研究。......
在DMD（Digital Micromirror Device）数字光刻系统中使用微透镜阵列聚焦可在像面获得灰度点阵图形，若曝光的同时基底按预设计的方式同......
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响．模拟结果表明，当照明光源的......
针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜（DMD）的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化......
研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统。利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实......
根据无掩模光刻机的整体结构和工作流程,开发了一款适用于DMD无掩模光刻机的曝光软件。对系统进行了整合,运用开发环境VS2010实现......
数字微镜器件（Digital Micro-mirror Device,DMD）作为数字光处理技术（Digital Light Processing,DLP）的核心，可通过控制其反射微镜的偏......
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