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目前,我国有很多台由网络分析仪和微波探针台组成的在片测试系统,测试芯片的S参数.本文介绍了在片测试的测量不确定度计算方法,并......
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为解决在片测试系统中1~1000Ω电阻无法进行整体校准问题,通过采用GaAs材料作为衬底,利用半导体工艺中薄膜溅射法,使用轰击离子Ar+......