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在片集成电感相关论文
体硅CMOS射频集成电路中高Q值在片集成电感的实现
制作高Q值在片集成电感一直是体硅CMOS射频集成电路工艺中的一大难点,文章讨论和分析了体硅RF IC工艺中提高在片集成电感Q值的几种......
期刊
在片集成电感
射频集成电路
品质因素
钢互连
低K介质
体硅CMOS
On-chip inductors RF IC Quality factor Copper
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