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无液封GaAs多晶合成技术
利用As、Ga、GaAs的性质,开发出一种新的GaAs多晶合成方法。开展了Φ130mm合成系统的温度、压力优化实验。采用石墨盖代替BN坩埚盖,......
期刊
无液封
砷化镓多晶
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