砷化镓多晶相关论文
利用As、Ga、GaAs的性质，开发出一种新的GaAs多晶合成方法。开展了Φ130mm合成系统的温度、压力优化实验。采用石墨盖代替BN坩埚盖，......
根据实际生产经验,分析了GaAs多晶料表面杂质的类型、产生原因及对后续单晶生长的影响,明确了多晶表面清洗工艺的重要性,介绍了针......
在分析原卧式砷化镓多晶合成炉缺陷的基础上．借鉴其它进口砷化镓单晶炉体部分结构优点，综合创新设计等制造出立式砷化镓多晶合成炉。......
采用水平定向凝固法合成砷化镓多晶,定向凝固炉分为3个温区,砷单质在低温区(约630℃)升华,通过中温区后在高温区(1 250~1 255℃)与......
