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基于ICP工艺的垂直微小硅镜的加工(英文)
利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度......
期刊
ICP
DRIE
轮廓
蚀刻机
反应离子刻蚀
微镜
直度
感应耦合
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