We describe a simple but efficient technique to fabricate large-scale arrays of highly ordered silicon nanostructures. B......

研究了光辅助电化学刻蚀技术,并特别研究了阵列和硅衬底之间的边缘效应。在阵列边缘由于电流分布不均匀以及空穴从孔的侧壁注入,因......

太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域......

介绍了一种刻蚀效果良好的PZT铁电薄膜反应离子刻蚀方法。利用深反应离子刻蚀设备研究了反应离子刻蚀中刻蚀气氛、刻蚀功率及刻蚀......

研究了锆钛酸铅（PZT）薄膜的深槽反应离子刻蚀（DRIE）技术。首先,对比了3种工艺气氛条件下（SF6/Ar、CF4/Ar和CHF3/Ar）刻蚀PZT的效果。实验......

为了提高MEMS执行器件对面内运动位移（或力学信号）检测的灵敏度并改善侧壁检测电阻制作工艺与其他工艺及其不同器件结构之间的兼容性......

为了提高面内运动位移检测的灵敏度和改善侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题,研究了一种可用于面内运动位移检测的传感器,提出......

在高密度反应离子刻蚀技术中,存在明显的线宽损失,对小尺寸MEMS结构影响很大,将使MEMS器件灵敏度下降,稳定性降低.本文介绍了一种......

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)是基于微电子加工技术,汇集了电子、机械、材料、制造、测量,以及物理、化学......

风速的测量不仅在航天航空、科研实验上不可或缺,更与人们的生活、工农业生产密不可分。目前,在风速风向测量方面,风杯、风向标是......

设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗......

微机械陀螺是一种测量角速度或角位移的惯性传感器,具有体积小,可靠性高,价格便宜的优点,在汽车,电子和惯性导航领域有很大的潜力......

地震勘探是矿产能源勘探的主要方法,实现地震勘探的主要设备是加速度传感器。随着勘探精度要求的提高以及深层地质结构的影响,传统......