基片调谐相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

基片调谐相关论文

射频感性耦合等离子体中容性耦合对放电模式和基片调谐自偏压的影响

在实际的射频感性耦合放电中总是寄生着射频容性耦合。射频容性耦合产生的结果之一是射频感性等离子体源具有感性耦合放电模式(H m......

学位

射频等离子体感性耦合容性耦合放电模式基片调谐非线性

看过本文同时还关注