射频等离子体相关论文
钛及钛合金具有比强度高、密度低和生物相容性好等优异性能,广泛应用于航天航空、海洋工程和生物医疗等领域。尤其是近年来3D打印......
CO2作为碳及含碳化合物的最终氧化产物，无论是从碳资源综合利用角度，还是从环境污染控制来讲，研究开发其转化利用具有极为重要的意义......
本文采用发射光谱法研究了SF6射频辉光放电等离子体的性质。在超光滑光学表面加工时,使用了SF6、O2和Ar混合气体等离子体,为了研究......
随着社会可持续发展的迫切需要,发展绿色能源储存和转换技术至关重要。析氢反应（hydrogen evolution reaction,HER）作为电解水和氢燃......
低温等离子体是对当今科技发展与工业应用影响重大的一项科学与工程,未来半导体行业的集成化和微型化要求会更高,也就迫切需要低温......
钛基铱钽氧化物阳极以其优异的电化学活性和稳定性在废水处理、土壤修复等领域引起了广泛的关注。该类阳极的研究方向之一是制备电......
纳米洋葱状富勒烯作为富勒烯家族的一员，以其独特的分子结构可望在高性能耐磨材料、超导材料、信息材料和生物医用材料等领域有广泛......
本论文探讨了利用射频等离子体增强化学气相沉积（rf PECVD）技术以CH4、H2为气源，Ar为稀释气体，在不锈钢、玻璃等基底上制备大面积类金......
射频等离子体气相沉积法(Radio-Frequency plasma chemical vapordeposition，RF—PCVD)能够制各出分散性好、粒度分布窄、纯度高等......
组织工程学是应用细胞生物学和工程学的原理，研究、开发修复和改善损伤组织结构和功能的生物替代物的一门科学。将具有良好生物相容......
由合成气催化转化制低碳醇对于应对能源危机和环境问题具有重要意义，因而受到广泛关注。目前研究焦点主要集中在提高CO转化率、总醇......
电感耦合等离子体(ICP)放电的过程中会经历两种放电模式，分别是容性耦合放电（E模）和感性耦合放电（H模）。由于等离子体中的非线性效应，导......
本文主要介绍了通过射频等离子体增强化学气相沉积法,利用SiHH4和Ar作为反应气体,在不同的射频功率条件下进行气相沉积反应,制备出......
采用射频等离子体增强的气相沉积法,以硅烷和乙烯为原料,在常温下成功的合成了碳化硅薄膜.对于该条件下合成的碳化硅薄膜的结构特......
低能宽束离子源是离子束沉积、刻蚀和表面改性系统的核心部件,综述了考夫曼、射频等离子体、电子回旋共振等离子体、无栅网等四种......
本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气.在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞.通过观......
射频等离子体具有温度高(约104℃)、等离子体炬体积大、能量密度高、传热和冷却速度快等优点,是制备组分均匀、球形度高、缺陷少和......
用射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱 .电子显微镜观察表明 ,产物中无碳纳米管等伴随生成 ,因而制得了较高产率、较......
用等离子辅助分子束外延 (P MBE)的方法 ,在蓝宝石c 平面上外延生长了p型氧化锌薄膜。在实验中采用高纯金属锌作为Zn源、NO作为O源......
采用射频等离子体方法处理聚3-己基噻吩（P3 HT）薄膜,使 P3 HT 原位形成由碳膜和 P3 HT 组成的双层异质结构型。采用场发射扫描电子显......
采用浸渍法制备了Ni／SiO2催化剂，应用等离子体技术对催化剂进行改性处理。以CO2甲烷化为模型反应对催化剂进行活性评价，通过H2程序升......
根据实验，观察耦合状态等离子体高频电源的工作特性，讨论了在装置中形成的等离子体，对装置的反作用与装置固有条件的综合效果，制约着等......
采用射频等离子体技术制备了CO加氢合成低碳醇用新型CuCo/ZrO2催化剂,研究了等离子体气氛氮气、氢气和先氮气后氢气处理对催化剂结......
采用射频等离子体技术制备新型Cu-Co/SiO2催化剂.与直接焙烧制备的样品相比,射频等离子体处理提高了催化剂的比表面积,显著增大了......
利用等离子体增强脉冲激光沉积系统，在n型Si（100）基底上沉积了不同沉积气压下的纳米BN薄膜，利用红外光谱（FTIR）对BN薄膜进行了表征。通过......
采用射频等离子方法,对Ga As（100）衬底片表面进行干法硫等离子体钝化,旨在得到性能稳定含硫钝化层。样品经过360℃温度条件下的快速......
分别使用氢气和氩气射频等离子体放电处理氧化石墨烯溶液，快速的对氧化石墨烯进行还原，同时得到了三维多孔的表面形貌。结果显示，还原......
采用射频(RF)等离子体对颗粒形状不规则的钨粉球化,研究了加料速率和钨粉分散方式对球化率的影响。通过用电子扫描显微镜(SEM)观测......
研究了等离子体辅助金属有机化学气相沉积方法制备N掺杂p型ZnO薄膜过程中生长参数如衬底温度、射频功率、锌源流量对ZnO薄膜结晶质......
期刊
根据等离子体化学反应的特点，应用射频辉光放电，研究了T型、Y型和夹套型反应器对低压条件下N2＋H2转化反应的影响。结果显示，TⅡ型反应......
利用夹套型反应器对甲烷的射频等离子体有氧转化进行了系统的研究，得到了产物H2、C2H4、C2H8、C2H2和少量的CO2。研究表明，激发电压......
采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型．模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响，模拟......
通过射频等离子体改性体相Mo2N制备了MoO2-Mo2N复合催化剂,并考察了其在合成气制低碳醇反应中的催化性能。利用XRD、TEM、XPS、CO-......
通过射频等离子体对聚四氟乙烯(PTFE)表面的作用,实现了PTFE材料表面的化学改性和其润湿性的提高.研究了不同反应条件对PTFE表面湿......
采用射频等离子体球化技术对多次激光3D打印废弃的不规则GH4169合金粉末进行二次改造,研究载气、氢气流量对球化粉末效果的影响机......
采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy.通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份......
在已有的调谐基片自偏压研究的基础上，进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响；研究了基片分支串联电阻对......
柔性电子技术是一场全新的电子技术革命,引起全世界的广泛关注并得到了迅速发展。鉴于透明度、柔韧性及力学性能要求,高分子聚合物......
基于本中心RF500型镀膜机,采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型。模型中考虑了极板直流......
为了提高药品包装用聚乙烯（PE）薄膜的阻隔性能,利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以氧气（O2）和六甲基二硅氧烷（HMDSO）作为氧化性气......
采用水冷铜坩埚感应熔炼制备了名义成分为Ti-45A l-8.5Nb-0.2W-0.2B-0.02Y（at%）的大尺寸铸锭,经机械破碎后,采用流化床气流磨和射频......
采用射频等离子体球化技术对多次激光3D打印废弃的GH4169合金粉末颗粒进行二次改造,研究了送粉速率对粉末球化效果的影响规律,分析......
为了探究等离子体在玻璃熔制中的应用,采用射频等离子体对二氧化硅原料进行熔化,制备石英玻璃微球,研究了不同原料粒径、进料速率......
利用氩气射频等离子体球化处理形状不规则的氢化钕铁硼粉末。采用扫描电子显微镜、能谱仪、X线衍射仪、激光粒度分析仪对射频等离......
为了得到类金刚石薄膜的性质和制备参数之间的对应关系，利用射频等离子体增强化学气相淀积在单晶硅的（100）面上制备了类金刚石薄膜，反......
射频等离子体制备球形钛粉技术是利用等离子体炬产生的高温热将形状不规则的钛粉快速熔融成液滴,随后急冷,"冻结"成球形钛粉。通过......
采用射频等离子体对不规则状冶金级钽粉进行了球化处理,研究了粉末供给速率对球化率的影响。结果表明,当粉末供给速率为10g·m......
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在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中，通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极，以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面......
