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用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析
对用于ICF驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化,使其具有更优的分频效果.在此基础上,对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了......
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ICF系统
分频光栅
占空比
塌边结构
允许误差
ICF systemColor separation gratingDuty cycleTrapezoid s
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