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增强化学气相沉积法相关论文
铝诱导对多晶硅生长的影响
本硕士论文分析了铝诱导多晶硅薄膜制备的发展历程,对铝诱导多晶硅薄膜的制备和表征进行了具体研究。通过改进工艺条件和制备参数(衬......
学位
铝诱导
多晶硅薄膜
增强化学气相沉积法
制备工艺
生长择优取向
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