多晶硅薄膜相关论文
以衬底温度和射频(RF)功率为调控晶化多晶硅薄膜的氢等离子钝化处理工艺的参数,借助发射光谱(OES)全程实时探测以及对氢化处理后薄......
针对大面阵CCD成像黑缺陷多的特点,从机理和制作工艺上进行了分析研究。结果表明,CCD成像黑缺陷主要由光刻工艺缺陷引起。光刻LOCO......
多晶硅表面对于电荷耦合器件(CCD)的制作非常重要。采用扫描电子显微镜(SEM)和电学分析技术研究了低压化学气相(LPCVD)法淀积的多......
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理,提出改进氢化效果的工艺方法.在不增加设备投资的情况下,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化......
本文报道了利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射在温度300℃以下沉积氢化多晶硅薄膜的制备方法.利用拉曼散射、X射线衍......
本文报道了低压化学气相淀积（ＬＰＣＶＤ）制备的多晶硅薄膜内应力与制备条件、退火温度和时间及掺杂浓度关系的实验研究结果，用ＸＲＤ、ＲＥＤ等技术测量分析......
用深能级瞬态谱(DLTS)法测定了有意在硅中掺入的过渡金属的主要深能级位置,发现一个与铁有关的缺陷能级(E_(?)-0.31ev)。并观察了......
介绍了低压化学气相淀积多晶硅薄膜的制备原理及制备技术.对多晶硅成膜质量进行了分析,分析了影响多晶硅薄膜均匀性、致密性、淀积......
介绍一种以多晶硅薄膜为敏感材料的压力传感器。该传感器利用了双岛结构膜片的应力集中效应，灵敏度得到提高，且具有良好的线性度和过......
利用 Ni金属诱导晶化 ( Metal Induced Crystallization,MIC)的方法制备 p- Si薄膜 .XRD,Raman光谱研究结果表明 ,a- Si/ Ni经 440......
超低温压力传感器是指在4K～110K范围内的低温环境下能正常工作的压力传感器。在众多类型的压力传感器中，超低温压力传感器因其特殊应......
激光晶化制备多晶硅薄膜的技术具有晶化温度低、工艺简单，薄膜性能优良等优点，是目前产业界主要采用的多晶硅薄膜的制备技术。但目前......
硅薄膜型太阳能电池在太阳能光伏发电领域处于重要地位，具有工艺简单、成本低、能量转换效率高等特点。多晶硅薄膜太阳能电池由于不......
本文首先对显示技术的发展和多晶硅薄膜的制备方法以及应用前景进行了综述,同时对Ni金属诱导非晶硅横向晶化制备多晶硅的研究现状......
众所周知,硅基材料在半导体行业起到了举足轻重的地位,比如说现在的液晶显示屏都会使用低温多晶硅薄膜,这些薄膜可以使用准分子激......
多晶硅薄膜因其较高的载流子迁移率、较低的制备成本以及良好的光电稳定性而被广泛应用于太阳能电池、薄膜晶体管等领域。金属诱导......
等离子体化学气相沉积技术是通过电子碰撞来给源反应提供能量的，跟传统的化学气相沉积技术相比，具有沉积温度低、沉积速率大及膜的质......
依据多晶硅薄膜太阳能电池具有高性能、低成本的特点，廉价衬底材料成为产业化的关键。我们以廉价的颗粒硅带SSP(Silicon Sheets fro......
等离了体技术在微电子工业和半导体薄膜材料生长等方面有着广泛的应用。用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术制备的薄膜质量好,而且......
多晶硅薄膜作为薄膜太阳电池的活性层，其晶体质量是决定电池效率的关键。本文对快热化学气相沉积法制备多晶硅薄膜的生长行为、微观......
近年来，多晶硅薄膜广泛应用于薄膜晶体管(TFTs)和薄膜太阳能电池等各种电子器件，受到人们的普遍关注。在多晶硅薄膜的各种制备技术中......
多晶硅薄膜太阳电池兼有晶体硅电池和薄膜电池的优点，被普遍看好将成为“第二代太阳电池”的最佳侯选者之一。由于薄膜太阳电池的效......
太阳能是人类取之不尽、用之不竭的可再生能源,也是清洁、不产生任何环境污染的能源。多晶硅薄膜在长波段具有高光敏性,对可见光能......
尽管目前光伏电池市场85％以上仍被体硅太阳能电池所占据，并且其组件也正在变得更便宜以及更高效，然而价格因素仍然是其发展的重要障碍......
多晶硅(Poly-Si)薄膜以其优异的光电性能与较低的制备成本,在能源信息产业中日益成为一种非常重要的电子材料,在大规模集成电路和......
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法分别在镀Ag、镀Cu玻璃衬底上低温沉积出高质量多晶硅薄膜。使用XRD、Raman光谱、扫描电子显微镜(......
在环境与能源危机的今天，太阳能电池作为绿色环保能源深入人心。多晶硅薄膜太阳电池同时兼具晶体硅电池和非晶硅电池的优点于一身，即......
多晶硅薄膜电池因其低成本和高转换效率两方面的优势成为当前太阳能电池研究和开发的热点。本文采用金属诱导晶化法制备多晶硅薄膜......
多晶硅薄膜结合了晶体硅的高转换效率和非晶硅薄膜的低制造成本的优点,被认为是一种性能较为优异的光伏材料。制备多晶硅薄膜的方......
多晶硅薄膜具有较高的光敏性、对可见光的吸收性，兼具有晶体硅的稳定性和非晶硅薄膜制备工艺简单的优势，是理想的高效率、低衰减光伏......
金属诱导非晶硅晶化是一种具有潜力的多晶硅薄膜制备方法。纳米尺寸下的金属/非晶硅薄膜系统的晶化现象，涉及到薄膜界面的扩散以及......
随着地球自然环境的恶化和人类环保意识的增强,太阳能,风能,地热能,生物能等各种新兴的能源正受到密切的关注,它们是绿色环保,使用......
MEMS(微电子机械系统)器件的尺寸一般在几微米到几百微米之间,MEMS器件主要是由薄膜结构组成,而薄膜材料参数和体结构的参数已经大......
在石油、天然气等传统能源价格不断上涨的今天，可再生能源--太阳能的研究已经成为全世界科研组织研究的重点。并且，随着对第三代薄膜......
微电子机械系统(MEMS, Micro-electro-mechanical-system)技术是由集成电路技术延伸和发展而来,利用原先在集成电路工业上发展的技......
多晶硅(pc-Si)薄膜作为一种光电信息材料,有着不同于体材料的许多物理特性,这使其在光伏器件中有着潜在的应用价值。本工作以石英......
多晶硅薄膜由于具有较高的迁移率和较好的稳定性，近年来被广泛地应用于平板显示薄膜晶体管(TFT)的有源选址矩阵基板、高效长寿命薄......
本硕士论文分析了铝诱导多晶硅薄膜制备的发展历程，对铝诱导多晶硅薄膜的制备和表征进行了具体研究。通过改进工艺条件和制备参数（衬......
多晶硅薄膜在薄膜太阳电池和薄膜晶体管等大面积电子学方面具有明确的应用前景。由于具有高速沉积、气体利用率高和易晶化等特点,......
本文对快速热化学气相沉积法(RTCVD)制备在石英衬底、单晶硅片和多晶硅带上的多晶硅薄膜的电学性质进行了研究。在实验方面，我们用......
多晶硅薄膜在长波段具有高光敏性，对可见光能有效吸收，又有与晶体硅一样的光照稳定性，所用材料价格低廉，被公认为是高效率和低功耗的光......
多晶硅薄膜以其优异的光电性能和较低的制备成本，在能源信息工业中，日益成为一种重要的电子材料，并被广泛应用于大规模集成电路和半导......
在石油和天然气价格不断上扬的今天，可再生能源(尤其是太阳能)的研究已成为各国各大研究小组研究的重点。随着第三代太阳能电池—薄......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
为了进一步提高多晶硅薄膜的晶化率,采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上制备了掺杂稀土锗的多晶硅薄膜。用扫描电子显微镜(KYKY-1000B......
采用金属铝诱导晶化非晶硅薄膜的方法制备多晶硅薄膜。研究了不同的退火温度对a-S i薄膜晶化的影响,采用XRD,R am an,SEM等测试手......
