增强退火相关硕士博士期刊学术论文

综述了近年来低能核物理所开展ＭｅＶ高能离子注入Ｓｉ的研究概况。研究工作包括深注入掩埋层物理特性分析，新型增强退火研究，二次缺陷的抑制与......