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声表面波马达相关论文
斜入射非接触式声表面波转动马达及其性能研究
声表面波马达可通过结构简单的叉指电极直接激发声表面波产生驱动信号。因而,声表面波马达除了具有超声马达的优点外(比如高输出力......
学位
超声马达
声表面波
叉指换能器
声表面波马达
声流
声表面波马达
给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结......
期刊
超声波马达
声表面波马达
多自由度
叉指电极
小型化
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