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复合加速相关论文

工件靶台复合加速离子注入系统中的靶台偏压效应

采用PIC／MCC模型，通过数值模拟的方法研究了束线离子和靶台复合加速离子注入过程中靶台偏压大小对注入过程离子动力学行为的影响，重点......

期刊

离子注入胞中粒子模拟复合加速偏压 Ion implantation Particle-in-cell simulation Hybrid accele

束线/浸没复合加速离子注入及鞘层调制数值仿真研究

离子注入改性层具有不影响工件外形尺寸、不存在膜基结合问题等突出优点，使得离子注入表面改性技术成为一种重要的材料改性手段。等......

学位

离子注入鞘层调制复合加速均匀性粒子模拟

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