外差干涉法相关论文
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微机电系统)器件依据可动结构来实现相应的功能,其主要发展趋势是器件越来越小,频率越来越......
结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.计算并分析了复灵敏度因子随薄......
激光外差干涉是新一代水声声压基准的主要技术,光学干涉系统中的信号解调算法直接影响质点振速和声压量值。为准确得到测量结果,详......
光电极值法是光学薄膜厚度监测的常用方法,该方法在镀膜前引用块状材料的折射率设计膜系。而在实际镀制过程中,用于镀制光学薄膜的......