纳米精度相关论文
扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL 系统的技术特点，介绍了国内外SBIL 技......
相干辐射的相位控制已经成为物理、化学、生物等不同学科分支的重要技术。一种简单而被广泛采用的相位控制方案就是利用具有确定相......
结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.计算并分析了复灵敏度因子随薄......
深紫外投影光刻机是目前高端半导体集成电路制造的主流设备,其中,光刻物镜系统是光刻机中最精密、最复杂的分系统。随着数值孔径NA......
提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路，其结构设计简洁紧凑，光路布局对称性好，光程差倍增，符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系......
介绍了2m比长仪系统的组成，对其采用光电显微镜动态瞄准刻线和激光干涉测长原理进行了分析，研究了提高刻线瞄准精度和激光干涉测长精......
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工......
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提出了一种纳米精度级的单轴柔性移动平台装置.该装置采用自导向位移放大机理,在紧凑结构尺寸实现了高达厘米量级的行程范围.其中,......
针对微尺度复杂三维结构加工中的关键部件--三维微进给平台进行了研究.对国内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析.目......
纳米制造是多学科的新型交叉研究领域,对其基础研究的深入展开可为前沿制造技术的进步提供有力支撑。在过去的20多年里,基于纳米制......
