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多分区响应表面法相关论文

响应表面法在工艺综合中的应用

通过实例，介绍多分区响应表面法的优点及其给工艺综合带来的好处，并用其构建的响应表面模型分析工艺窗口带来的影响。......

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响应表面法多分区响应表面法工艺综合 MOSPAD 工艺窗口半导体集成电路 response surface method MR-RSM process s

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