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通过实例，介绍多分区响应表面法的优点及其给工艺综合带来的好处，并用其构建的响应表面模型分析工艺窗口带来的影响。
响应表面法在工艺综合中的应用
【摘 要】
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通过实例，介绍多分区响应表面法的优点及其给工艺综合带来的好处，并用其构建的响应表面模型分析工艺窗口带来的影响。
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年10期
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