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多圈磁场相关论文
多圈磁场阴极溅射靶的优化设计
通过仿真对比分析单圈、两圈、三圈磁场的靶材利用率,选取三圈磁场进行磁场强度优化,根据仿真结果优化设计了多圈磁场、磁棒组合磁......
期刊
溅射靶
磁控溅射
多圈磁场
靶材利用率
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